Entegre devre üretimi için grafit elektrotlar
Jincheng Graphite, profesyonel bir grafit ürünleri üreticisi olarak, entegre devre üretimi için yüksek iletkenliğe ve yüksek termal stabiliteye sahip grafit elektrotlar sağlar. Bu elektrotlar, yüksek hassasiyetli işleme yetenekleri, uzun hizmet ömrü ve düşük termal stres ile litografi, dağlama ve biriktirme gibi önemli işlemler için özel olarak tasarlanmıştır. Üst düzey yarı iletken imalat endüstrisinde- yaygın olarak kullanılırlar.
Temel Avantaj
Yüksek iletkenlik ve termal stabilite
Yüksek-saflıkta grafit alt tabakaları kullanan ve nano ölçekli yüzey işleme teknolojisini birleştiren iletkenlik, 10^5 S/m'den büyük veya buna eşit, termal genleşme katsayısı ise 3,5×10⁻⁶/ derece'den az veya eşittir. Bu, yüksek-sıcaklık işlemleri sırasında yapısal stabilite sağlar ve levhanın termal deformasyonunu önler.
Hassas işleme uyumluluğu
Lazer kesim, plazma aşındırma vb. yoluyla, 0,05 ila 3 mm arasında değişen elektrot kalınlığını ve özel karmaşık geometrileri destekler; 5 nm ve altındaki gelişmiş işlemler için levha işleme ekipmanına uygundur ve yüksek-hassas hizalama gereksinimlerini karşılar.
Korozyon direnci ve aşınma direnci
Yüzey kimyasal pasivasyon işlemine tabi tutulur. HF, HNO₃ vb. ile güçlü asit korozyon testlerinden geçerek 1500 derece ve üzeri sıcaklıklara dayanabilmekte, elektrotların ömrünü önemli ölçüde uzatmakta ve proses kesintisi riskini azaltmaktadır.
Uygulama Senaryosu
Entegre devre üretiminde kullanılan grafit elektrotlar, plazma dağlama (derin-mikron altı hendek işleme için), kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve fiziksel buhar biriktirme (PVD) gibi temel işlemlerde yaygın olarak kullanılır. Düşük termal stres özellikleri, levhaların eşit olmayan termal genleşmesinin neden olduğu kusurları etkili bir şekilde önleyebilir, üst düzey çiplerin verimini %99,8'in üzerine çıkararak-çip üretim süreçlerinde minyatürleştirme ve yüksek-yoğunluk entegrasyonunun sağlanmasına yardımcı olabilir.
Teknik Özellikler
| Elektrik iletkenliği | 10^5 S/m'den büyük veya eşit (oda sıcaklığında) |
| Termal genleşme katsayısı | 3,5 × 10⁻⁶ / dereceye eşit veya daha az |
| Yüzey pürüzlülüğü | Ra 0,2 μm'den küçük veya ona eşit |
| Korozyon direnci | Güçlü asitler, güçlü alkaliler ve plazma ortamlarında yapılan testlerden geçmiştir |
| Mekanik dayanım | Basınç dayanımı 120 MPa'dan büyük veya ona eşit |
Jincheng Grafit Kalite Güvencesi
Jincheng Grafit, 18 yıldır grafit ürünleri alanında derinden yer almaktadır. Düşük sıcaklıkta sinterleme teknolojisi ve ISO9001 kalite yönetim sistemi sertifikasyonu için-kendi bağımsız fikri mülkiyet haklarına sahiptir. Ürünlerin yarı iletken endüstrisinin temizlik (ISO 4 sınıfı), termal stabilite (±0,5 derece) ve yüzey düzlüğü (0,1 μm'den az veya eşit) açısından katı gerekliliklerini karşıladığından emin olmak için ham madde saflaştırmasından (%99,99'a eşit veya daha büyük saflık), kalıplama ve preslemeden yüksek- sıcaklıkta sinterlemeye kadar tüm süreci sıkı bir şekilde kontrol eder.
İşbirliği Taahhüdü
Jincheng Graphite, ücretsiz numune testi, 72-saatlik teknik yanıt ve küçük-ölçekli deneme üretimi desteği sunar. Müşteri proses gereksinimlerine göre elektrot boyutlarını, iletken performans parametrelerini ve yüzey işleme planlarını özelleştirebilir. Küresel yarı iletken işletmeler için yüksek performanslı ve güvenilir grafit elektrot çözümleri sağlamaya kararlıdır. Profesyonel teknoloji, hızlı teslimat ve sürekli yenilikle, entegre devre üretiminde termal yönetim ve hassas işleme alanında temel bir ortak haline geldi.
Popüler Etiketler: ic imalatı için grafit elektrotlar, Çin ic imalatı için grafit elektrotlar üreticileri, tedarikçiler, fabrika, yarı iletken ekipmanlar için grafit burçlar, grafit vc homojen sıcaklık plakası, yarı iletken sınıfı grafit, yarı iletken grafit ısı emiciler, yarı iletken grafit homojen sıcaklık plakası, gofret üretimi grafit
