Yüksek-saflıkta izostatik basınçlı grafit kılavuz halkaları, doğrudan çekmeli (CZ) tek kristal silikon fırının termal alan sisteminin temel işlevsel bileşenleridir. Hassas bir şekilde 4N/5N yüksek-saflıkta izostatik basınçlı yapay grafitten üretilirler ve esas olarak grafit potanın üzerine, kılavuz tüpün iç ve dış taraflarına ve kristal çekme kanalının çevresine monte edilirler.
Ekipman, 1400 ila 1600 santigrat derece arasındaki sıcaklıklarda, argon gazının inert atmosferine sahip bir vakum ortamında uzun süre çalışır. Temel işlevleri arasında gaz akışını yönlendirmek, termal alanı sınırlamak, kristal çubuğu konumlandırmak, silikon buharının sıçramasını önlemek ve yabancı madde kirlenmesini önlemek yer alır.
Kurulum yeri ve yapısal form
Tipik kurulum konumu
Tek kristal fırının termal alanının üst kısmına, erimiş silikon sıvı yüzeyi ile üst yalıtım örtüsü arasına, tohum kristal çubuğu ve büyüyen tek kristal silikon çubuğu çevreleyecek şekilde yerleştirilir. Bazı modeller bir akış kılavuzu tüpüyle birleştirilmiştir.
Ana yapı
Bütünleşik halka tipine, ayrı kombinasyon tipine, adım konumlandırma tipine ve çok-delikli hava akışı yönlendirme tipine bölünmüş genel halka-şekilli yapı; 12-28 inçlik farklı fırın türlerine göre, büyük çaplı, ince-duvarlı ve özel şekilli konumlandırma olukları ve diğer yapıları ±0,01 mm'ye ulaşan işleme toleransıyla işleyebilir.
Verimlilik sıçraması Hassasiyet ve kararlılık
Hava akışı kılavuzu: Fırındaki argon gazı korumasının akış yönünü, gazın önceden belirlenmiş bir yol boyunca dolaşmasını sağlamak, iz yabancı maddeleri ve silikon sıvı yüzeyinden buharlaşan ısıyı gidermek ve fırının iç atmosferini stabilize etmek için düzenler.
Termal alan sınırlaması: Grafitin mükemmel ısı yalıtımı ve termal iletkenlik özelliklerinden yararlanılarak radyal sıcaklık alanı sınırlandırılır, fırın içindeki sıcaklık farkı azaltılır ve kristal çubuğun anormal yerel sıcaklık farkları nedeniyle dislokasyonlar ve çatlaklar oluşturması önlenir.
Mekanik limit kılavuzu: Kristal çubuğun sallanmasını veya eğilmesini önlemek, kristal çubuğun dikey ve eş eksenli olarak büyümesini sağlamak ve kırılma ve çarpık çubuklar gibi üretim hatalarını azaltmak için çekme sırasında tek kristal silikon çubuk için radyal konumlandırma sağlayın.
Çekirdek çalışma prensibi
Bariyer koruması: Yüksek-sıcaklıktaki silikon buharının ve karbon tozunun yukarı doğru sıçramasını önleyin; bunların kristal çubuğa, fırın gövdesinin üst yalıtım parçalarına ve optik gözlem penceresine yapışmasını önleyin; kristal çekme işleminin sürekli ve istikrarlı olmasını sağlayın.
Temiz koruma: Yüksek-saflıktaki alt tabaka, zararlı yabancı maddeleri açığa çıkarmaz, böylece metal ve kül yabancı maddelerin silikon eriyiğine ve kristal çubuğa en başından karışmasını engeller.
Temel Performans Özellikleri (veri desteğiyle)
(1) Ultra-yüksek saflık, olağanüstü temizlik (temel avantaj)
Yüksek-sıcaklıkta derin arıtma teknolojisini kullanan sabit karbon içeriği %99,99'a (4N) eşit veya daha büyüktür ve premium model için %99,999'a (5N) ulaşabilir; kül içeriği 50 ppm'den az veya buna eşittir ve metal safsızlıkları (Fe, Al, Ca, Cu, vb.) 1 ppm'den az veya eşittir. Yüksek-sıcaklıktaki bir vakum ortamında, silikon eriyiği ve tek{10}}kristal silikon çubuğu kirletmeyecek hiçbir uçucu madde veya metal buharı emisyonu yoktur; azınlık taşıyıcı ömrünü ve silikon levhanın fotoelektrik dönüşüm verimliliğini garanti eder ve fotovoltaiklerin ve yarı iletkenlerin yüksek{11}}saflıkta işleme gereksinimlerini karşılar.
(2) İzostatik presleme, izotropik, kararlı yapı
Soğuk izostatik üç-boyutlu pres kalıplama, tekdüze malzeme yoğunluğu ve yönsellik yok, hacim yoğunluğu 1,85~1,95 g/cm³'tür. Mekanik ve termal özellikler her yönde tutarlıdır ve hassas sınır boyutlarını koruyarak uzun-dönemli yüksek{-sıcaklık döngüsü altında eğrilmez, deforme olmaz veya çatlamaz.
(3) Son derece yüksek-sıcaklık direnci, mükemmel termal kararlılık ve termal şok direnci
Argonun vakum/inert atmosferi altında, uzun-dönem kullanım sıcaklığı 1400~1600 derecedir ve nihai sıcaklık direnci 2200 dereceye ulaşabilir; termal genleşme katsayısı yalnızca 4,0~4,8×10⁻⁶ / derecedir (oda sıcaklığı ila 1500 derece), son derece küçük termal genleşme ve daralma ile. Tek-kristal fırının sık sıcaklık değişimlerine ve hızlı soğutma ve ısıtmaya maruz kalması nedeniyle, çatlama veya ayrılma riski olmadan uzun süre stabil bir şekilde kullanılabilir.
bizi kim seçiyor?
1. Teknolojik olarak gelişmiş: Yüksek-saflıktaki grafitin temel teknolojisinde bağımsız olarak uzmanlaşmak, 4N/5N saflık standartlarına ulaşmak ve kaplama bağımsız olarak geliştirilmiş ve daha dayanıklı olmak;
2. İstikrarlı kalite: Yüksek boyutsal doğruluk ve istikrarlı yüksek-sıcaklık performansı ile tam-süreç kalite kontrolü + uluslararası sertifikalar;
3. Hızlı özelleştirme: Tüm fırın türlerinin 12-28 inçleriyle tamamen uyumludur, numuneler 7 gün içinde üretilebilir ve toplu teslimat 15 gün içinde tamamlanabilir;
4. Maliyet-etkin: Dikey tedarik zinciri, toplu siparişlerde indirimlerle birlikte fiyat ithal ürünlere göre %30 daha düşüktür;
5. Mükemmel hizmet: Önde gelen müşteriler tarafından onaylanan, çift-dilli teknik destek + uyumlu gümrükleme + 1-yıl garantisi.
tek-stop çözüm
profesyonel ekip
yüksek kalite
| Öğe | Tipik Değer | Notlar |
|---|---|---|
| Karbon Saflığı | %99,99'dan büyük veya eşit (4N) / %99,999'dan büyük veya eşit (5N) | Toplam safsızlıklar 100 ppm'ye (4N) eşit veya daha az; 10 ppm'den az veya eşit (5N) |
| Yığın Yoğunluğu | 1,85–1,95 gr/cm³ | Soğuk izostatik preslenmiş, ince taneli ve izotropik |
| Eğilme Dayanımı | 45 MPa'dan büyük veya eşit | Basınç dayanımı 80 MPa'dan büyük veya ona eşit |
| Kül İçeriği | 50 ppm'den az veya eşit | Yüksek-sıcaklık arıtması işlendi |
| CTE (RT ~ 1500 derece) | 4,0–4,8×10⁻⁶ / derece | İyi boyutsal kararlılık ve termal şok direnci |
| Isı İletkenliği | 120–150 W/(m·K) | Düzgün ısı dağılımı |
| Direnç | 8–15 μΩ·m | Hatta elektriksel iletkenlik |
| Sürekli Çalışma Sıcaklığı | 1400~1600 derece (Vakum/Ar) | İnert atmosfer altında maksimum 2200 derece |
| Maksimum Sıcaklık Havada | 450 dereceye eşit veya daha az (Kaplamasız) | SiC kaplama ile 1800 dereceye kadar |
| Tane Boyutu | 10 μm'den küçük veya ona eşit | Yüksek hassasiyette işleme için yoğun yapı |
| Opsiyonel Kaplama | SiC / PYC (Pirolitik Karbon) | Anti-silikon sızması, daha uzun hizmet ömrü |
Popüler Etiketler: cz tek kristal fırın için yüksek saflıkta izostatik grafit kılavuz halkası, Çin cz tek kristal fırın için yüksek saflıkta izostatik grafit kılavuz halkası üreticileri, tedarikçiler, fabrika, 1 kg külçe kalıbı, 3 boyutlu grafit kalıplar, yakıt hücresinde bipolar plaka, grafit kalp kalıbı, bıçak başı grafit kalıp, basınçlı döküm kalıbı
